برآرایی بخار هیدرید
اپیتکسی فاز بخار هیدرید (به انگلیسی: Hydride vapour phase epitaxy) گونهای اپیتکسی است که در ساخت گونههایی از نیمهرساناها مانند GaN، GaAs، InP کاربرد دارد. گازهای بکار رفته معمولاً شامل آمونیاک، هیدروژن، کلرید هستند.
جستارهای وابسته
This article is issued from Wikipedia. The text is licensed under Creative Commons - Attribution - Sharealike. Additional terms may apply for the media files.